高真空泵为什么能达到水银的蒸气压

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

导读：真空泵的工作原理？真空泵工作原理解析

整个汽车车身上有非常之多形状不一、不同功用的零部件，而“真空泵”是干什么的？汽车真空泵已经成为一个不可或缺的关键零部件。据了解，汽车真空泵主要应用于汽车制动系统，为汽车制动系统中的真空助力器提供真空源，减轻踏板阻力，从而减小制动距离。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。下面一起看下真空泵工作原理解析吧。

真空泵工作原理解析——种类

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

真空泵工作原理解析——工作原理

1)、水环式真空泵工作原理

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体经进气管进入泵内进气空间。随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

2)、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33&tim es 10-2（pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

3)、罗茨真空泵工作原理

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。

真空泵工作原理解析——保养窍门

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。

2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。

3、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。

4、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

5、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

6、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。

7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。

8、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。

9、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。

10、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。

11、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

12、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。

13、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

14、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

15、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

汽车的真空泵装置地位如此重要，不好好保养怎能行？也是希望大家认真阅读以上内容，不定哪天就会用到了。对于真空泵漏油到底需不需要更换，其实在面对不一样的问题时候应该用采用不一样的解决办法，而不是一致出现问题就更换，有些可能只是一个小零件坏了或者老化了，所以具体情况具体分析。以上就是我分享的关于真空泵工作原理解析的相关信息。

最先看一下“航天”这个词的界定。要了解航天这一汉语词是由在我国著名科学家钱学森老先生创造的，它又可以称之为室内空间航行、太空航行、或航天航行，官方网的界定，就是指进到、探寻、开发设计和运用太空及其地球上之外星体各种各样活动内容的统称。这儿的关键是：航天主要是进到到太空航行，因此发生另一个关键语汇：太空。

太空科幻片景象

提到太空，大家将会立刻想到科幻片里的情景，深邃而宽阔，深蓝色的地球上，灰黑色的天上里铺满了星辰。那到底什么叫太空呢？这儿就需要涉及到一点点生态学和天文学的内容。

大家来说一下地球上外边的结构，大伙儿了解，地球上外边围绕着很薄的一层空气（这儿的薄就是指相对性地球直径6400公里来讲）。假定从路面竖直往上飞，间距路面8~17公里之内（不一样层面地域的板厚不一样），称为电离层，这儿便是大家日常日常生活的大气层，在电离层中，空气是热对流的，有各种各样方位、各种各样硬度的风，并建立了雨云雷击，电离层中标准气压较高，气温纷繁复杂；超出10km就进入了对流层，这儿的空气是规律性的沿水平方向流动性，从间距路面10km一直到50km周边的高宽比，全是对流层，大家平时乘飞机，飞到最多的情况下一般是抵达对流层的底端，这儿的方向和风力都相对稳定，飞机场既节油，又可以防止强烈的晃动。

再往上升，抵达间距路面100km的间距，这部位就称为“卡门线”，这也是国内航空委员会达成一致的，在这个高宽比之上，因为空气过度较稀，飞机场就难以开展一切正常航行了，换句话说，卡门线能够觉得是大气层和太空的交界线，这之上，便是太空。具体从科学研究视角严格意义上来说，大气层和太空没有显著的界限，卡门线周边依然有空气，仅仅空气过于较稀罢了，但从航空公司航天的工程项目视角，这儿便是交界线了。我们可以简易解释为，间距离路面100km之上，就进入了太空。

再往远方看，离咱们近期的星体，也就是月亮，与地球上的大概间距是380000km，比卡门线远了几千倍，光要走1.5秒上下才可以到。光走一秒的距离是三十万公里，大家驾车每天飚车要开一年才可以追上光一秒踏过的间距。

再看太阳光，太阳光与地球上的大概间距约是1.五亿km（称之为“一个天文单位”），比地月间距又远了十几倍，光要走8分钟。太阳系多大呢？其边沿（以巨大的奥尔特星云圆球测算）间距大概有2亿光年，比日地间距又远了十万倍。这还单单是刚出了太阳系行星，间距最近的恒星（比邻星，距大家约4.22亿光年），也有多一半的间距要走。

太阳系

而像大家太阳光这类行星，在太阳系中有几亿万颗，太阳系行星这么大，在宇宙的角度看来，很有可能连一个点都表明不出来（太阳系直径较大约4亿光年，而银河系直径十万亿光年）。即便 是太阳系，在全部宇宙空间中也但是沧海一粟，太阳系以外，像太阳系这类星球，又有数十亿个。由此可见，太空极其的宏伟，远超人们的想象。

宏伟的宇宙空间

所以说，太空非常大，卡门线之外，全是太空的范畴，也全是航天要想去到的目的范畴。太空与人们日常日常生活的地板上和大气层内部有较大的不一样，在详细介绍航天以前，最先来归纳一下太空的首要特点。

简易而言，太空与路面上，关键有五个明显的差别：高真空泵、失重状态、极端化温度、白天黑夜周期时间和宇宙辐射。

真空泵就是指一种不会有一切化学物质的室内空间，真真正正的意义上的真空泵是一种理想化实体模型，是找不到的，大家说的太空中的真空泵，就是指空气较稀到一定水平下列，也就是非常低的标准气压。这一空气的较稀水平用“真空值”来表明，企业与标准气压同样，当真空值小于0.1333Pa时，就可以称为高真空泵情况。在卡门线之上的广漠太空中，也就是航天航行的范畴内，绝大多数全是中高真空泵态。真空泵与路面大气层中的关键差别取决于基本上没有空气，因此 标准气压极低，都没有O2，性命在哪是不可以生存的。因为没有空气，响声也不可以散播，因此 真空泵能够觉得是寂静的。没有空气，也就不会有空气摩擦阻力，因此 宇宙飞船在真空中飞行，就算是不给它驱动力也不会降速，机械能损害不大，但一样都没有空气水的浮力，因此 像鸟或飞机场那类航行方法是飞不高的。假如人要上太空，人保持性命也必须O2，还必须常规的大气压力，即便高原地区上大气压力只比平常低了一点，大家都非常容易造成高反，没有O2也是数分钟都活不了，因此 在太空中，航天员务必穿里太空服，来确保充足的气压和供氧浓度。

太空的第二个特征是失重状态，认真细致的说是低作用力自然环境，能够类似的看作失重状态，大家称之为“失重状态”。作用力是因为地球上对咱们的招引而发生的向“下”的力，而太空中是没有作用力的，缘故我们在后边讲万有引力定律的情况下回详尽表述。在失重状态自然环境下，与大家路面的一般作用力自然环境是根本不一样的。最先没有前后左右的定义，物品扔到上空不容易掉下，就在哪飘浮着，如果是水就更有趣了，会产生一个水球比赛飘浮半空中，水里也不会造成水的浮力。因为没有作用力，航天员们的日常生活会与路面上根本不一样，例如饮水，水杯是装不了水的，只有用塑料吸管喝；床边也躺不了，会飘起，因此只有睡在户外睡袋里；就连测体重也没法立在体重计上，由于压根站不稳，全是飘浮情况的。在神舟十号宇宙飞船上，航天员王亚平以前做了一系列试验，来演试失重状态自然环境下的物件健身运动特点，包含了品质精确测量、圆球健身运动和液态界面张力等，十分的生动活泼。

因为太空中是真空，没有空气热传导、排热和存储发热量，因此 太空温度与路面上拥有很大的不一样。假如物件受太阳立即直射，那照射到的一面可造成达到100 之上乃至几百度的高温。而阴面的一面，温度则可低至-100 下列，而太空中原本的温度乃至到-200 下列，这个是什么定义呢，连空气中的O2都不能保持汽体情况，会凝聚成液态乃至固态。因此 航天器在生产制造时，要与此同时考虑到低温自然环境和高温条件下的运行状态，而航天员在太空时，务必要穿上精制的太空服来隔热保温。

我们在路面上的24个小时的白天黑夜转变是由地球自转产生的，但因为航天器在太空航行，飞出速度、高宽比都不尽相同，因此 宇宙飞船在航天航行中的白天黑夜周期时间，和大家在地球上的白天黑夜周期时间是有较大差异的。

大部分航天器绕地球上转动，但因为速率一定要迅速（缘故大家事后再讲），因此 绕一圈的时长比24钟头要短得多，白天黑夜的一个周期时间也需要短得多，例如载人航天飞船神舟五号的一个白天黑夜周期时间才一个半小时上下。不一样高宽比的白天黑夜周期时间不尽相同，它和宇宙飞船绕世界航行的路轨多少有关。路轨高，白天黑夜周期时间就长；路轨低，白天黑夜周期时间就短。此外白天和黑夜的长短也不是平等的，航天器仅有转到世界的阴面面时，在宇宙的身影里才算是夜晚，而在地球上朝阳面和两旁面时全是大白天，因为他们距路面较为远，在地球上身影地区的时间相比较短，因此通常大白天较长而夜晚很短。

航天器路轨的白天黑夜

一些航天器顺着地球上的经线航行，也就是南北方方位绕着飞，这类航天器始终都能看到太阳光，始终是大白天。也有一些奔向月球、火花等太空的航天器，也是彻底和地球的自转没事儿，也是没法区别白天黑夜。

太空中并不象想像中那样宁静，而拥有各种各样强电磁波辐射存在。太阳光有太阳光电磁波辐射和太阳风，太阳风是由日冕吹出来的较高能等离子技术流，此外在太阳光在产生耀斑暴发时还会继续向外发送的高能粒子，因为太阳光离大家相对性较近，它产生的电磁辐射到世界周边是极强的。太阳光以外也有许多其他的星体，他们也向外辐射源无线电波，很多星体还向外辐射源高能粒子，产生宇宙射线。此外，因为宇宙膨胀的残余，宇宙空间各个地方都具有着一个广泛的辐射源，称为宇宙空间微波加热环境辐射源。这种对身体具有很大的损害，对电子设备也是有明显的危害。大家在地球上往往没有感觉，是由于地球上有强有力的地球磁场和对流层，把这种辐射源挡在了外边，维护了大家。但到太空就差异了，没了地球上的维护，我们在设计方案航天器和太空服时，务必要考虑到这种宇宙辐射对咱们的危害。

航空、航天这个词在中国是很时髦的，通常代表着“我国整体实力”、“新 科技 ”，但倘若问：航空和航天有什么不同？也许好多人说不清。即然大家讲航天，那麼一定要了解一下航天和它的血亲航空有什么具体的差别。

航空和航天的最关键差别是起飞的高宽比不一样。简易而言，“航空”，便是人们在地球上大气层中的主题活动；“航天”，便是人们冲破地球上大气层，到宇宙空间太空中去主题活动。刚刚我们在讲太空的过程中提及距路面100km的“卡门线”这一定义，这根线就可以解释为航空和航天的交界线。在卡门线下列，归属于航空起飞的范畴，翻过卡门线到上边即使冲破了大气层，就归属于航天的航行范畴了。

航空和航天因为在大气层的内外，他们航行的工作原理大不一样。最先看航空，也就是咱们平时搭乘的飞机场或直升飞机，他们在大气层内部航行，能留到上空不掉下去，关键靠的是空气的推力，飞机翼样子历经精心策划后，下边空气流动速度比较慢因而标准气压比较大，而上边空气流动速度较快因而标准气压较小，只需抵达一定速率，就可以让飞机翼左右造成充足的压力差，从而造成空气的托起力，托着飞机飞起来，因此 航空公司航行时主要是要确保有充足的速率， 汽车 发动机要一直工作中。

可是航天的基本原理根本不一样，因为在大气层外，基本上没有空气，压根没有办法用这一基本原理，只是靠充足的效率发生的惯性离心力来摆脱地心引力，才可以确保不掉下去，这一部分大家将在后面章节目录做详尽表述。但也更是由于基本上没有空气，都没有空气摩擦阻力，因此 在太空中的航天器不用 汽车 发动机一直工作中就能维持工作中速率。

一样或是因为一个在大气层内，一个在大气层外，他们的发动机构造也是有较大不一样。我们知道 汽车 发动机大多数全是靠点燃来造成阻力的，点燃需用O2，而空气中有大概20%的O2，因此 飞机发动机在大气层内航行只须要带上燃料就可以了，O2由空气来给予，如今大多数的飞机发动机选用“喷气式样 汽车 发动机”基本原理，推动力也是消化吸收空气再喷出去造成的，因此 空气在飞机发动机中的功效尤为重要。但航天 汽车 发动机就彻底不一样了，大气层外基本上没有空气，因此 它的点燃不但要带然料，还需要带氧化物（这儿不一定是O2，也是有其他的氧化物，但功效类似），而且也无法选用喷空气的方法造成推动力，而必须自身造成射出的化学物质。

飞行原理不一样，当然起落的方法也大不一样。航空的飞机场全是水准滑行到一定速率才可以飞起来，着陆时也是选用滑行降落，直升飞机尽管看起来是垂直起降，但实际上它的飞机螺旋桨也是水准活动的，基本概念和飞机机翼很像。航天全是选用真实的竖直起飞，用火箭发动机立即往下喷涌造成反推力起飞，到高处后还需要重点、逐步分离出来和入轨。有一些航天器能够回收利用着陆，着陆时采取的机理主要是2个：一是滑翔衣，二是推算 汽车 发动机。

所以说，航空和航天尽管全是往飞上天的新 科技 ，但或是具有十分大的差别的，大家将来可不可以把她们混为一谈。

航天是一项用时费力斥资的巨大工程，又担负着很大的风险性和可变性，但为什么全球各种大国都兴高采烈的发展趋势航天呢？有些人提出质疑，如今也有很多人连饭都食不果腹，为何要搞这种天空的物品，把钱先用于处理 社会 问题不太好吗？实际上 社会 问题确实必须处理，但航天也是一项势在必行的工程项目。大家来历数一下航天的关键实际意义。

航天斥资极大，必须付出大量的人工和时间，正能反映一个国家中国综合国力和提高国际威望，也是一个国家中国综合国力强劲的标示。航天技术性的程度与造就是一个我国经济、科学研究和技术水平的整体体现。因而航天工程项目在我国高层拥有重要的战略地位。

比较发达的航天技术性对现代化战争能够发挥非常重要的功效。现阶段，侦查通讯卫星不但变成规模性侦查的主要方式，并且能够给予战争战略范畴内的侦查服务项目；国防通讯卫星可以为陆海空三军军队给予靠谱的通讯方式；导航卫星能够为各种各样进攻服务平台（进攻的媒介）和严厉打击方式如舰船、飞机场、巡航导弹等开展精准导航栏；测地通讯卫星可以测到各种各样国防总体目标的精准所在位置，进而进一步提高了兵器的击中精密度；气象卫星，能够 带来较为确切的全世界或部分地区的气象情报，为制订战斗方案给予更多方面的根据。除此之外，数百年前大家都早已看得出，那时候将来的竞技场关键在深海，而如今看来，将来的角逐的主阵地很可能可能在太空，因而大力推广在我国的航天高新 科技 ，为创建一支强劲的天军做准备。未来谁夺得制天权，谁就会有更多的机遇获得战事。当今在我国部队早已建立了发展战略支援部队的航天系统部，就是为军事航天而努力。

航天是一项综合的系统工程，用到的技术众多，往往代表着一个国家的最先进的 科技 ，能体现现代 科技 多个领域的成就。科学家们利用航天技术可以触达的独特的太空环境，又可以做一些物理学、天文学、生物学等方面的尖端实验，推动科学进步。同时又给现代 科技 各个领域提出新的发展需求，从而可以大大促进整个 科技 的发展，并将为培养和造就航天 科技 人才作贡献。

中真空 102～10-1Pa 超高真空 <10-5Pa。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

（1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

（2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

到达-1Pa:双级油泵即可

到达-5Pa:需要 前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）

到达-8Pa:需要 前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）+（离子泵）

到达-11Pa:前级泵（油泵或者螺杆干泵）+（分子泵）+（离子泵）+（吸附泵）

高真空状态下可能需要烘烤除气，还有放气低的腔体，否则达不到要求。

图片为螺杆干泵+分子泵抽气效果。4.6E-7hpa,可以达到-5Pa级别。

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泵是输送流体或使流体增压的机械。它将原动机的机械能或其他外部能量传送给液体，使液体能量增加。泵主要用来输送水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等液体，也可输送液、气混合物及含悬浮固体物的液体。

泵通常可按工作原理分为容积式泵、动力式泵和其他类型泵三类。除按工作原理分类外，还可按其他方法分类和命名。

真空泵有真空泵气体输送泵，气体捕集泵，粗真空度，高真空度，超高真空度。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速。

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

以上内容参考 百度百科-真空泵