爱德华真空泵自带气震器吗
自带。
爱德华真空泵自带气震器,真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
你好!
请问是已经维修过了,还是没有维修过就无法启动呢!
一般爱德华真空泵无法启动有一下几个原因:
1、电源线连接不正确:对策:检查维修电源线, 以连线正常
2、电机保护开关设置不正确:对策:正确设定电机保护开关。
3、供给电机的电源电压与电机不匹配:对策:更换电机,电机功率需和真空泵相匹配
4、电机发生故障:对策:检修年电机是否故障,是否可以维修,是否需要更换电机
5、真空泵油温低于12℃(54℉):对策:把泵和泵油加热到需要的温度值以上或使用适用于此台真空泵牌号的真空泵油
6、真空泵油太粘稠:对策:换真空泵油,需要使用合适于此泵的适用真空泵油
7、排气过滤器/排气管路堵塞:对策:更换排气过滤器并检查看是否需要清洗排气管路,一般每月检查排气过滤器,每年要更换一次。
8、真空泵被卡死(现象:真空泵卡住):对策:检修真空泵,看是什么原因卡死,针对问题更换零配件,修复问题。
四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级,其吸气容积比后面三级大,形成级间压缩。
四对转子装在二根平行轴上,轴由上下两端轴承支撑,泵腔级与级之间有隔板,隔板上有吸排气通道。
一般真空泵噪音大有以下几个原因:
叶片损坏,轴承损坏,端盖和转子磨损,
真空泵发热的原因:
看您的真空泵油是不是已经积碳了,轴承损坏,,转子与端盖摩擦,散热风扇断裂,散热油管堵塞
如果真空泵泵油漏的厉害,就需要更换真空泵的油封,密封件。
密封件老化了,起不到密封的效果,产生了漏油
2.排气过滤器失效了,起不到排除油气分离的作用
3.真空泵的回油管是不是堵上了这种情况伴随的还会出现噪音异常,真空度达不到原来的水平
4.真空泵油是不是乳化了,这种也会出现噪音增大的情况
以上真空泵出现的问题解决办法是:
更换密封件,排气过滤器,疏通回油管,检查真空泵油的颜色,如果颜色呈黑色或者其他不纯净的颜色都应该换油了.
以上问题都还解决不了爱德华真空泵维修漏油的问题,就应该找正规的维修真空泵的厂家为您服务了,您可以在网上搜一下(苏州美欧),专业维修普旭,莱宝,爱德华,阿尔卡特等进口真空泵的,技术挺不错的.
工作原理:
罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。
罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱(仅限 iH1000)
你好:
看油的颜色,颜色深了,就需要更换了,
看真空泵油没有冒烟,有冒烟的情况,如果油雾分离器没有问题,就需要考虑真空泵油的问题
就是看爱德华真空泵上的提示的时间,如果真空泵油到了那个时间,就需要考虑更换真空泵油了